鎢燈絲掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來，已廣泛地應(yīng)用在生物學、醫(yī)學、冶金學等學科的領(lǐng)域中，促進了各有關(guān)學科的發(fā)展。
掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號。由電子槍發(fā)射的能量為5～35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅(qū)動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其它物理信號)，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，得到反映試樣表面形貌的二次電子像。
同時高能電子束作用在樣品表面會激發(fā)出各種信號，主要包括：二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極熒光和透射電子等，這些信號被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度，電子束打到樣品上一點，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個亮點，就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。
鎢燈絲掃描電鏡可以觀察單個原子在物質(zhì)表面的狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學性質(zhì)，在表面科學，材料科學、生命科學、藥學化學納米技術(shù)等研究領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景，但STM要求樣品表面與針尖具有導(dǎo)電性，這也是STM在應(yīng)用方面的局限所在。
在進行鎢燈絲掃描電鏡觀察前，要對樣品作相應(yīng)的處理。樣品制備的主要要求是：盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好，沒有變形和污染，樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能。
用鎢燈絲掃描電鏡觀察的部位常常是樣品的表面，即組織的游離面。由于樣品取自活體組織，其表面常有血液、組織液或粘液附著，這會遮蓋樣品的表面結(jié)構(gòu)，影響觀察。因此，在樣品固定之前，要將這些附著物清洗干凈。
