X射線熒光光譜儀由激發(fā)光源、單色器、狹縫、樣品室、信號(hào)檢測放大系統(tǒng)和信號(hào)讀出、記錄系統(tǒng)組成。激發(fā)光源提供用于激發(fā)樣品的入射光的來源。單色器用來分離出所需要的單色光。信號(hào)檢測放大系統(tǒng)用來把熒光信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合放大系統(tǒng)上的讀出裝置可顯示或記錄熒光信號(hào)。
X射線熒光光譜儀由光源氙弧燈發(fā)出的光通過切光器使其變成斷續(xù)之光以及激發(fā)光單色器變成單色光后，此光即為熒光物質(zhì)的激發(fā)光，被測的熒光物質(zhì)在激發(fā)光照射下所發(fā)出的熒光，經(jīng)過單色器變成單色熒光后照射于測樣品用的光電倍增管上，由其所發(fā)生的光電流經(jīng)過放大器放大輸至記錄儀，激發(fā)光單色器和熒光單色器的光柵均由電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)的凸輪所控制，當(dāng)測繪熒光發(fā)射光譜時(shí)，將激發(fā)光單色器的光柵，固定在適當(dāng)?shù)募ぐl(fā)光波長處，而讓熒光單色器凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，將各波長的熒光強(qiáng)度訊號(hào)輸出至記錄儀上，所記錄的光譜即發(fā)射光譜(emissionspectrum)，簡稱熒光光譜。
為保持儀器表面清潔，可用洗滌劑稀釋后用干凈的紗布浸濕后擦拭，再用干凈濕紗布擦洗。
X射線熒光光譜儀中的透鏡應(yīng)保持清潔，如發(fā)現(xiàn)不潔現(xiàn)象，可用脫脂棉蘸乙醇和C?H?OC?H?的混合液擰干后擦拭。
原子化室內(nèi)容易受酸氣和鹽類的侵蝕，因此透鏡前帽蓋和原子化器上會(huì)有白色沉淀物形成的斑點(diǎn)，可用干凈的紗布擦拭，以保持清潔。
原子熒光光譜法是一種痕量和超痕量分析方法。因此，在測定較高含量樣品時(shí)，應(yīng)預(yù)先稀釋后進(jìn)行測定，如不慎遇到*含量時(shí)(特別是Hg)則管路系統(tǒng)將受到嚴(yán)重污染。處理方法可將載流/樣品進(jìn)樣管放入10%HCl(V/V)溶液中，啟動(dòng)蠕動(dòng)泵不斷進(jìn)行清洗，如仍然難以清洗干凈時(shí)，則需更換聚四氟乙稀管路，一般情況下，均可得明顯改善，如仍有殘余難以清除情況下，則需對石英爐管情況，按照說明書將石英爐管拆下，用20—30%王水浸泡24小時(shí)左右。然后再用去離子水清洗干凈，晾干或置于烘箱內(nèi)烘干后使用。
